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글라스(Sodalime) 기판 또는 석영유리(Quartz) 기판 위에 크롬(Cr) 및 크롬산화질(CrON)의 금속박막 필름을 입힌 것으로 포토마스크의 원재료가 되는 기판이며 반도체나 LCD의 패턴 작업에 사용 된다.
Description
Contents
Description
Sodalime, Quartz
Size (inch)
5×5, 6×6, 7×7, 9×9
Thickness (inch)
0.09, 0.12, 0.25
* 상기표에 없는 것도 주문 가능
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